應(yīng)用原理

在使用油擴散泵的高真空環(huán)境中都存在著一定的殘余氣體,大部分以上是水蒸汽、油蒸汽及其他高沸點的蒸汽,但其抽除殘余氣體的能力低,時間長,而且所有殘余氣體還是工件的污染源,從而使產(chǎn)品的產(chǎn)量和質(zhì)量受到影響。超低溫直冷機則是解決這類問題的上佳選擇。

直冷式超低溫制冷機的工作原理:將一個能到一120℃以下的制冷盤管,放置在真空室中或油擴散泵的泵口,通過其表面的低溫冷凝效應(yīng),迅速捕集真空系統(tǒng)的殘余氣體。從而大大縮短抽真空的時間(可縮短抽氣時間)、獲得潔凈的真空環(huán)境。