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半導體高低溫測試裝置使用須知

分類:行業(yè)新聞 228

半導體高低溫測試裝置是運用在半導體制程中對反應腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱介質不可燃流體控溫場所,是半導體行業(yè)應用元件制冷制熱、控溫測試的一種設備。那么,這種設備應該注意什么呢?

半導體高低溫測試裝置使用須知-冠亞恒溫

半導體高低溫測試裝置注意事項

1、半導體高低溫測試裝置的電源采用三相四線制,電源線連接電源線、零線和地線。用電控箱上的穿孔將機組的主電源線連接到箱內的接線柱上,確保連接緊密。

2、主電源電壓:在額定電壓要求范圍內;

3、當主電源電壓波動超過規(guī)定范圍時,不允許啟動半導體高低溫測試裝置否則視為操作不當,由此造成的損壞不在我公司維修范圍內;

4、半導體高低溫測試裝置設有電流過載保護、壓縮機排氣端高低壓保護、電機線圈過熱保護、防冰保護、冷卻水流量聯(lián)鎖保護等措施和控制電路;

5、無錫冠亞半導體高低溫測試裝置的控制電路已在工廠安裝調試完畢,未經(jīng)授權不得更改。如需更改,請聯(lián)系無錫冠亞技術人員。

半導體高低溫測試裝置特點:

1、半導體高低溫測試裝置的介質循環(huán)系統(tǒng)保壓測試7bar。

2、半導體高低溫測試裝置采用高品質磁力泵,沒有機械軸封。

3、優(yōu)化溫度采樣及響應速度,專門設計控制算法,能快速響應到控溫穩(wěn)定。

4、無錫冠亞半導體高低溫測試裝置增強循環(huán)泵能力設計,滿足系統(tǒng)高揚程需求。

5、持續(xù)高溫降溫技術,滿足在熱沉板加載熱量,需要冷熱恒溫控制時穩(wěn)定運行。

6、針對氟化液易揮發(fā)特點,加強了接頭設計、系統(tǒng)密封設計,確保介質使用壽命。

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