半導體反應腔室控溫系統(tǒng)是既可以加熱又可以冷卻的集成設備，采用機械原理快速升高和降低溫度。它不僅使溫度迅速升高，而且具有較大的加熱和冷卻能力，被廣泛應用于生物，化學工業(yè)，石材，科學研究，醫(yī)學等領域，為各個行業(yè)的快速發(fā)展提供了保證。

1、半導體反應腔室控溫系統(tǒng)的整體設備為全封閉系統(tǒng)，設備不會因加熱而增加壓力，將根據(jù)溫度變化調(diào)節(jié)傳熱介質(zhì)，使整個設備運行平穩(wěn)。但是，某些意外故障將導致溫度緩慢變化，這種情況持續(xù)一段時間，將導致設備損壞，甚至直接損壞核心組件。

2、當遇到降溫慢的問題時，可以戴手套觸摸主機壓縮機的排氣口，看看排氣管的溫度是否不高，然后再觸摸吸氣管。查看吸水管是否結霜，如果滿足了這兩點，則設備缺少制冷劑，請參閱設備隨附的操作手冊以添加制冷劑，確保選擇合格的制冷劑。

3、除了制冷劑引起的非冷卻問題外，設備制冷系統(tǒng)，傳感器系統(tǒng)，控制系統(tǒng)，一個或多個系統(tǒng)也可能存在問題。您可以先關閉設備，然后啟動設備以查看是否可以解決問題。如果不是，請依次檢查每個系統(tǒng)。非人員請勿打開設備，以免造成二次損壞。

4、確認設備的相關閥門狀態(tài)是否滿足啟動要求，并打開電源。開關以使電源控制指示燈點亮。啟動冷卻水泵，冷卻塔風扇和制冷劑水泵，您應該能夠看到三個設備的操作指示燈亮起。

5、檢測半導體反應腔室控溫系統(tǒng)的潤滑油溫度，油泵開始運行后，將能量調(diào)節(jié)控制閥置于減荷位置，并確認滑閥處于零位置以調(diào)節(jié)油壓控制閥。

6、設備啟動并投入運行后，為了以確保設備正在運行，另需查驗制冷劑水泵，冷卻水泵，冷卻塔風扇在運行過程中的聲音和振動，水泵的出口壓力，水溫等指標是否在正常工作參數(shù)范圍內(nèi)。

7、壓縮機運行過程中，電機的工作電流是否在規(guī)定范圍內(nèi)，如果電流太大，則應進行調(diào)整以減少負載運行，以防止電動機因過大的運行電流而燒壞，以及在運行期間壓縮機的聲音和振動是否正常。