半導體高低溫測試裝置是運用在半導體制程中對反應(yīng)腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱介質(zhì)不可燃流體控溫場所,是半導體行業(yè)應(yīng)用元件制冷制熱、控溫測試的一種設(shè)備。那么,這種設(shè)備應(yīng)該注意什么呢?
半導體高低溫測試裝置注意事項
1、半導體高低溫測試裝置的電源采用三相四線制,電源線連接電源線、零線和地線。用電控箱上的穿孔將機組的主電源線連接到箱內(nèi)的接線柱上,確保連接緊密。
2、主電源電壓:在額定電壓要求范圍內(nèi);
3、當主電源電壓波動超過規(guī)定范圍時,不允許啟動半導體高低溫測試裝置否則視為操作不當,由此造成的損壞不在我公司維修范圍內(nèi);
4、半導體高低溫測試裝置設(shè)有電流過載保護、壓縮機排氣端高低壓保護、電機線圈過熱保護、防冰保護、冷卻水流量聯(lián)鎖保護等措施和控制電路;
5、無錫冠亞半導體高低溫測試裝置的控制電路已在工廠安裝調(diào)試完畢,未經(jīng)授權(quán)不得更改。如需更改,請聯(lián)系無錫冠亞技術(shù)人員。
半導體高低溫測試裝置特點:
1、半導體高低溫測試裝置的介質(zhì)循環(huán)系統(tǒng)保壓測試7bar。
2、半導體高低溫測試裝置采用高品質(zhì)磁力泵,沒有機械軸封。
3、優(yōu)化溫度采樣及響應(yīng)速度,專門設(shè)計控制算法,能快速響應(yīng)到控溫穩(wěn)定。
4、無錫冠亞半導體高低溫測試裝置增強循環(huán)泵能力設(shè)計,滿足系統(tǒng)高揚程需求。
5、持續(xù)高溫降溫技術(shù),滿足在熱沉板加載熱量,需要冷熱恒溫控制時穩(wěn)定運行。
6、針對氟化液易揮發(fā)特點,加強了接頭設(shè)計、系統(tǒng)密封設(shè)計,確保介質(zhì)使用壽命。